一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法专利登记公告

专利名称：一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法

摘要：本发明涉及一种电子束蒸发制备掺杂氧化锌薄膜的低能耗、易实现的工艺方法，属于透明导电薄膜制备领域。该制备方法为电子束蒸发法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其中，蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0.40～0.80Pa。利用上述制备方法制备的掺杂氧化锌薄膜的方块电阻在50～130Ω/□之间、透光率＞90％，可广泛应用于制备太阳能电池、平板显示器和发热薄膜中。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210051815.3

专利申请（专利权）人：大连理工大学

专利发明（设计）人：叶飞;曹善鹏;侯波;张文征

主权项：一种掺杂氧化锌薄膜的制备方法，包括靶材制备，基片处理，蒸镀和退火的步骤，其特征在于：所述蒸镀步骤中电子束流为25～35mA，工作气压为0.40～0.80Pa。

专利地区：辽宁