一种双层膜超导整流器件的制备方法专利登记公告

专利名称：一种双层膜超导整流器件的制备方法

摘要：本发明公开了一种基于载流子浓度调控超导转变温度机理的超导薄膜整流器件，具体是指一种以La1.8Sr0.2CuO4/La1.9Sr0.1CuO4双层膜为模型的超导器件的制备和测试。本发明是先用脉冲激光沉积镀膜系统制备双层薄膜，然后采用稀释的浓HNO3溶液腐蚀上层薄膜制备器件，在低温下测量器件的物理特性，测试结果表明该器件具有很好的整流特性。本发明的优越性：基于载流子浓度调控超导转变温度的机理，通过施加电场，可以有效调控双层膜的超导转变温度，并表现出很好的整流特性，这种器件是基于超导体系中的新的物理机制构建的

专利类型：发明专利

专利号：CN201210046184.6

专利申请（专利权）人：浙江理工大学

专利发明（设计）人：张媛;刘仁娟;李培刚;沈静琴;崔灿;唐为华

主权项：一种双层膜超导整流器件的制备方法，其特征在于包括如下步骤：(1)首先采用单面抛光的单晶SrTiO3(001)为衬底，并超声清洗干净，自然晾干；(2)利用脉冲激光沉积技术，在PLD球型脉冲激光沉积镀膜系统中，沉积气氛为O2，依次将具有两种成分的超导薄膜分别沉积到SrTiO3的抛光面上制备成双层薄膜结构；靶材分别为：La1.8Sr0.2CuO4和La1.9Sr0.1CuO4；(3)然后将双层薄膜的一半保护起来，采用HNO3溶液，腐蚀上层薄膜，使产品表面形成两种不同成分薄膜的台阶结构。

专利地区：浙江