真空镀膜用布气系统专利登记公告

专利名称：真空镀膜用布气系统

摘要：一种真空镀膜用布气系统，它包括套装的第一布气管、第二布气管和隔片，所述的第一布气管上设有多个第一出气孔，第二布气管上，平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔，第一布气管和第二布气管的两端封闭，第一布气管的一侧为进气孔，隔片横向或斜向设置在第二布气管内，使得第二布气管形成两腔体，隔片的两端与第二布气管有一定缝隙，第一布气管安装在第二布气管内背向真空镀膜靶面的腔体内。本发明通过二次布气，达到了布气的均匀性，在使用过程中，通过对镀膜均匀性的检测，取得了良好的效果。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210067836.4

专利申请（专利权）人：无锡康力电子有限公司

专利发明（设计）人：朱殿荣;曹俊

主权项：一种真空镀膜用布气系统，其特征是它包括套装的第一布气管（1）、第二布气管（2）和隔片（3），所述的第一布气管（1）上设有多个第一出气孔（4），第二布气管（2）上，平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔（5），第一布气管（1）和第二布气管（2）的两端封闭，第一布气管（1）的一侧为进气孔（6），隔片（3）横向或斜向设置在第二布气管（2）内，使得第二布气管（2）形成两腔体，隔片（3）的两端与第二布气管（2）有一定缝隙，第一布气管（1）安装在第二布气管（2）内背向真空镀膜靶面的腔体内。

专利地区：江苏