一种基于微井结构的气体传感器阵列及其制作方法专利登记公告

专利名称：一种基于微井结构的气体传感器阵列及其制作方法

摘要：本发明公开了一种基于微井结构的气体传感器阵列及其制作方法，包括至少4个独立的传感器单元，所述传感器单元采用微井结构，在各微井间设有聚酰亚胺隔离层；在所述微井井内沉积有以有机薄膜、有机/无机复合薄膜或有机-无机多层膜构成的敏感膜，微井表面设置有叉指电极。本发明在各微井间设置有聚酰亚胺隔离层，电子聚合物敏感材料滴入其中一个微井时，能有效阻止敏感材料溢出、流进其相邻的微井，不会造成不同微井间敏感材料的交叉污染，从而保证了传感器的选择性和稳定性；并且结构简单，加工成本较低，在大气环境监测、航天密闭舱空气质量检测及

专利类型：发明专利

专利号：CN201210052726.0

专利申请（专利权）人：电子科技大学

专利发明（设计）人：谢光忠;蒋亚东;杜晓松;太惠玲;朱涛;周泳;廖剑

主权项：一种基于微井结构的气体传感器阵列，包括至少4个独立的传感器单元，其特征在于：所述传感器单元采用微井结构，在各微井间设有聚酰亚胺隔离层；在所述微井井内沉积有以有机薄膜、有机/无机复合薄膜或有机?无机多层膜构成的敏感膜，微井表面设置有叉指电极。

专利地区：四川