一种硅片的湿法刻蚀方法及太阳能电池生产方法专利登记公告
专利名称:一种硅片的湿法刻蚀方法及太阳能电池生产方法
摘要:本发明提供了一种硅片的湿法刻蚀方法包括:使用氢氟酸对扩散制结后得到的硅片的各个表面进行润洗;用去离子水对硅片的各个表面进行冲洗;将硅片进行表面干燥;使用氢氟酸、硝酸和硫酸的混合液对硅片的侧面和背面进行刻蚀。本发明还提供了一种太阳能电池的生产方法,依次包括硅片检测,表面制绒处理,扩散制结处理,上述技术方案所述的湿法刻蚀处理,镀减反射膜处理,制作正面电极及背面电极和烧结处理。本发明提供的硅片湿法刻蚀方法减少了对硅片正表面的腐蚀,对正表面起到保护作用,改善了硅片的正表面的外观,并且边缘绝缘较好。采用所述湿法刻蚀
专利类型:发明专利
专利号:CN201210060376.2
专利申请(专利权)人:英利能源(中国)有限公司
专利发明(设计)人:李高非;徐卓;郎芳;崔景光
主权项:一种硅片的湿法刻蚀方法,包括以下步骤:a)使用氢氟酸对扩散制结后得到的硅片的各个表面进行润洗;b)用去离子水对所述步骤a)得到的硅片的各个表面进行冲洗;c)将所述步骤b)得到的硅片进行表面干燥;d)使用氢氟酸、硝酸和硫酸的混合液对所述步骤c)得到的硅片的侧面和背面进行刻蚀。
专利地区:河北
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