微机电系统及其制造方法专利登记公告

专利名称：微机电系统及其制造方法

摘要：本发明涉及MEMS及其制造方法。该MEMS包括：设置在基板上的第1电极；第1辅助构造体，与上述第1电极相邻地设置在上述基板上，处于电浮置状态；和第2电极，设置在上述第1电极和上述第1辅助构造体的上方，被向上述第1电极的方向驱动。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210061957.8

专利申请（专利权）人：株式会社东芝

专利发明（设计）人：斋藤友博

主权项：一种微机电系统，其特征在于，包括：设置在基板上的第1电极；第1辅助构造体，与上述第1电极相邻地设置在上述基板上，处于电浮置状态；和第2电极，设置在上述第1电极和上述第1辅助构造体的上方，被向上述第1电极的方向驱动。

专利地区：日本

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