具有能量收集器件的传感器专利登记公告
专利名称:具有能量收集器件的传感器
摘要:在本发明披露的一些实施例中,传感器包括基板、传感器元件和能量收集器件。传感器元件包括板件,并且板件相对于基板可移动。能量收集器件形成在传感器元件的板件上。
专利类型:发明专利
专利号:CN201110324343.X
专利申请(专利权)人:台湾积体电路制造股份有限公司
专利发明(设计)人:钟添淦;戴文川;黄耀德;黄信锭;蔡尚颖;杨长沂;洪嘉明
主权项:一种器件,包括:基板;传感器元件,连接至所述基板并且包括板件,所述板件相对于所述基板可移动;以及能量收集器件,所述能量收集器件形成在所述传感器元件的所述板件上。
专利地区:台湾
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