面向微结构制造具有力反馈控制的微探针刻划加工方法专利登记公告

专利名称：面向微结构制造具有力反馈控制的微探针刻划加工方法

摘要：面向微结构制造具有力反馈控制的微探针刻划加工方法。本发明属于微纳结构加工技术领域。本发明可以实现低成本、高精度、微米尺度沟槽等复杂微结构的加工。方法是：先将工件放置于X-Y向精密工作台上，根据所设定的力初值，简称设定值，使微探针刀具自动逼近工件表面并维持一个恒定的力F，该恒定的力F的初值为5-20mN，当微探针刀具与工件表面接触后，开始刻划加工，启动力闭环控制模块，Z向微动工作台上下移动，实现垂直力的实时闭环控制，X-Y向精密工作台带动工件做精密移动，实现微沟槽结构的加工；微沟槽结构加工好后，力闭环控制结

专利类型：发明专利

专利号：CN201210066835.8

专利申请（专利权）人：哈尔滨工业大学

专利发明（设计）人：闫永达;胡振江;赵学森;周起琛;孙涛;董申

主权项：一种面向微结构制造具有力反馈控制的微探针刻划加工方法，其特征是：所述的加工方法由下述步骤实现：步骤一：微探针刀具的自动逼近工件表面过程；先将工件放置于X?Y向精密工作台上，根据所设定的力初值，简称设定值，使微探针刀具自动逼近工件表面并维持一个恒定的力F，该恒定的力F的初值为5?20mN，具体逼近工件表面过程如下：开始，Z向粗动工作台先向下移动的距离A=5?18μm，然后压电陶瓷驱动Z向微动工作台向下移动的距离B=6?20μm，在Z向微动工作台移动过程中检测力传感器的值，如果达到设定值，则认为微探针刀具与工

专利地区：黑龙江