掩膜板及其制备方法专利登记公告

专利名称：掩膜板及其制备方法

摘要：本发明提供一种掩膜板及其制备方法，其中，掩膜板包括母板，母板于一面设有通过电铸方式形成的若干呈阵列状排布的凹槽、及围绕凹槽的电铸层，母板还设有通过刻蚀方式形成的贯穿母板的若干狭槽，狭槽与凹槽部分或全部相通。这样不但可以满足高分辨率对掩模板高开口率的要求，而且可以更好地满足大尺寸掩膜板强度方面的需求。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210068040.0

专利申请（专利权）人：昆山维信诺显示技术有限公司;清华大学;北京维信诺科技有限公司

专利发明（设计）人：邱勇;彭兆基

主权项：一种掩膜板，包括母板，其特征在于：所述母板于一面设有通过电铸方式形成的若干呈阵列状排布的凹槽、及围绕凹槽的电铸层，所述母板还设有通过刻蚀方式形成的贯穿母板的若干狭槽，所述狭槽与所述凹槽部分或全部相通。

专利地区：江苏