在单独衬底上具有外部谐振器的垂直发射光泵浦半导体专利登记公告

专利名称：在单独衬底上具有外部谐振器的垂直发射光泵浦半导体

摘要：本发明说明了一种用于制造可光泵浦的半导体装置(1)的方法，其包括以下步骤：提供包括复数个单支承体区域(34)的支承体复合结构(80)，这些单支承体区域机械上彼此固定相连，将谐振腔反射器(31)设置到单支承体区域上，以及制成各谐振器附件(40)，提供包括复数个连接支承体(14)的连接支承体复合结构(50)，这些连接支承体机械上彼此固定相连，在连接支承体复合结构(50)的连接支承体(14)上设置表面发射的半导体本体(1)，以及在连接支承体(14)上设置谐振器附件(40)。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210082842.7

专利申请（专利权）人：奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司

专利发明（设计）人：乌尔里克·斯蒂格马勒;弗兰克·辛格;托马斯·施瓦茨;罗朗德·舒尔茨

主权项：一种用于制造可光泵浦的半导体装置的方法，其包括以下步骤：?提供包括复数个单支承体区域(34)的支承体复合结构(80)，这些单支承体区域机械上彼此固定相连，?将谐振腔反射器(31)设置到单支承体区域上，?制成各谐振器附件(40)，?提供包括复数个连接支承体(14)的连接支承体复合结构(50)，这些连接支承体机械上彼此固定相连，?在连接支承体复合结构(50)的连接支承体(14)上设置表面发射的半导体本体(1)，以及?在连接支承体(14)上设置谐振器附件(40)。

专利地区：德国