一种有机薄膜晶体管阵列基板的制作方法专利登记公告
专利名称:一种有机薄膜晶体管阵列基板的制作方法
摘要:本发明提供一种有机薄膜晶体管阵列基板的制作方法,包括以下步骤:通过构图工艺分别形成包括栅电极、栅线、绝缘层、有机半导体层、阻挡层、源电极、漏电极以及数据线的图形,其中,所述有机半导体层和阻挡层的图形通过一次构图工艺形成。本发明所述有机薄膜晶体管阵列基板的制作方法与现有技术相比,能够进一步减少构图工艺次数,即只需采用四次构图工艺,因而提高了生产效率,降低了生产成本。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210088843.2
专利申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司
专利发明(设计)人:张学辉;薛建设;刘翔
主权项:一种有机薄膜晶体管阵列基板的制作方法,包括以下步骤:通过构图工艺分别形成包括栅电极、栅线、绝缘层、有机半导体层、阻挡层、源电极、漏电极以及数据线的图形,其特征在于,所述有机半导体层和阻挡层的图形通过一次构图工艺形成。
专利地区:北京
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