基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法专利登记公告

专利名称：基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法

摘要：一种基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法，该方法通过安装在工件台上的图像传感器测量具有不同方向取向的掩模标记对应的空间像光强分布，之后通过标定好的灵敏度矩阵计算得到投影物镜波像差。灵敏度矩阵可利用光刻物理仿真软件进行标定。相比于在先技术，本方法可以更为全面的检测投影物镜波像差。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210115759.5

专利申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所

专利发明（设计）人：段立峰;王向朝;徐东波

主权项：一种基于空间像检测的投影物镜波像差原位测量方法，该方法采用的测量系统包括用于产生照明光束的光源(1)、能调整照明方式以及照明数值孔径的照明系统(2)、用于承载测试掩模(3)并能实现精确定位的掩模台(4)、用于将掩模图形成像到硅片上的投影物镜系统(5)、能精确定位的六维扫描工件台(6)、安装在六维扫描工件台上的空间像传感器(7)以及与工件台相连的数据处理计算机(8)，其特征在于本方法包括以下步骤：①仿真空间像集合的建立：采用传统Box?Behnken?Design统计抽样方式或其它统计抽样方式设定泽尼克系数

专利地区：上海