同步信号触发扫描方式延迟时间测量方法专利登记公告

专利名称：同步信号触发扫描方式延迟时间测量方法

摘要：本发明公开了一种同步信号触发扫描方式延迟时间测量方法，沿精密移动平台移动的正方向以不同速度等距离触发脉冲信号至空间光调制器，空间光调制器以相同的中心位置曝光两个大小不等的框至基底表面成像，通过测量曝光的框的位置偏差计算出同步脉冲信号输出到空间光调制器显示图形的延时，进而根据延时对曝光进行补偿。本发明可以准确将图形曝光到指定的位置，提高了曝光图形的绝对定位精度同时也解决了不同曝光速度导致的曝光图形绝对定位精度误差。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210122845.9

专利申请（专利权）人：合肥芯硕半导体有限公司

专利发明（设计）人：毕娟;朱亮

主权项：一种同步信号触发扫描方式延迟时间测量方法，包括有投影曝光模块、主控模块，投影曝光模块包括有曝光光源、空间光调制器，曝光光源与空间光调制器之间设有光学集光系统，空间光调制器下方设置有倾斜的分束器，分束器下方设置有基底，分束器与基底之间还设有透镜（组），分束器的分光面的前方光路上设有反射镜，反射镜的反射光的前方光路上设有CCD摄像机，所述的基底置于精密移动平台上；所述的主控模块包括有计算机系统、控制器，计算机系统分别通过一个控制器与空间光调制器、曝光光源、带动精密移动平台运动的电机控制连接，计算机系统还通过人

专利地区：安徽