基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜专利登记公告

专利名称：基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜

摘要：一种基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜，包括：一微纳操作臂；一石英音叉固定于微纳操作臂的前端；一近场光纤探针固定于石英音叉的一个音叉臂上；一样品扫描台位于石英音叉的下方；一正弦信号发生器的信号输出端与石英音叉的输入端相连接；一前置锁相放大器的输入端与石英音叉的输出端相连接；一控制箱其输入端与前置锁相放大器的输出端连接，其一输出端与微纳操作臂的输入端相连接，另一输出端与样品扫描台的输入端相连接；一探测器和/或光源，该探测器和/或光源与近场光纤探针相连接。其既具有超衍射极限的光学分辨能力，同时又具有大范围

专利类型：发明专利

专利号：CN201210119169.X

专利申请（专利权）人：中国科学院半导体研究所

专利发明（设计）人：王瑞;谢亮;祝宁华

主权项：一种基于微纳操作臂的多自由度近场光学显微镜，包括：一微纳操作臂；一石英音叉，该石英音叉固定于微纳操作臂的前端，该石英音叉包括两个音叉臂和一个输入端及一输出端；一近场光纤探针，该近场光纤探针固定于石英音叉的一个音叉臂上；一样品扫描台，该样品扫描台位于石英音叉的下方；一正弦信号发生器，该正弦信号发生器的信号输出端与石英音叉的输入端相连接；一前置锁相放大器，该前置锁相放大器的输入端与石英音叉的输出端相连接；一控制箱，其输入端与前置锁相放大器的输出端连接，其一输出端与微纳操作臂的输入端相连接，另一输出端与样品扫描

专利地区：北京