一种梳状纳米结构氧化锌气敏传感器的制备方法专利登记公告

专利名称：一种梳状纳米结构氧化锌气敏传感器的制备方法

摘要：本发明属于一维纳米结构半导体氧化物气敏传感器制备技术领域，涉及一种利用化学气相沉积方法制备可以在室温条件下进行检测一氧化碳的梳状纳米结构氧化锌气敏传感器的方法，先按照需要选择晶体的生长条件，利用改进的化学气相沉积法制备出梳状纳米结构氧化锌；再将梳状纳米结构氧化锌分散到金单元格阵列上，将存在氧化锌的两相邻单元格用微电极连接，采用常规半导体封装工艺封装在外壳内，制备出氧化锌气敏传感器；传感器在常温下工作，其结构简单，功耗小；制备工艺简单，成本低，生长的氧化锌晶体纯度高、完整性好；气体接触反应的表面积大；接触电

专利类型：发明专利

专利号：CN201210124133.0

专利申请（专利权）人：青岛大学

专利发明（设计）人：张红娣;龙云泽;于淼;孙彬

主权项：一种梳状纳米结构氧化锌气敏传感器的制备方法，其特征在于具体步骤包括：(1)用改进的化学气相沉积法制备梳状纳米结构氧化锌：先将石英瓶水平放置在快速退火炉内的水平石英管中，石英瓶口的朝向和气流方向相同，石英瓶底的位置上放入纯度99.9％的锌粉；表面负载有金纳米颗粒的硅片或玻璃片放置在石英瓶颈处；石英瓶内产生富锌的环境，与石英瓶口进入的氧气在石英瓶颈处发生化学反应，在硅片或玻璃片的基片上生长出ZnO纳米结构；再将石英管抽真空至10?2Torr，通入氮气保持在1个标准大气压；然后快速升温，退火炉内温度在10分钟内

专利地区：山东