多晶硅还原炉专利登记公告

专利名称：多晶硅还原炉

摘要：本发明公开了一种多晶硅还原炉，该多晶硅还原炉包括炉架，炉架上安装有炉体，炉架与炉体之间安装有底盘，炉体与底盘配合构成一中空的腔室，底盘上安装有若干电极，电极上安装有石墨件，硅芯棒位于腔室内且与石墨件连接，其中，多晶硅还原炉还包括隔热底板与隔热罩，且隔热底板与隔热罩均位于腔室内，隔热底板安装于底盘上，炉体的内壁上固定安装有若干卡扣支撑板，隔热罩安装于卡扣支撑板上，隔热罩与隔热底板一起围成中空的反应室，且硅芯棒位于反应室内。本发明的多晶硅还原炉有效防止反应室内的热量被冷却水带走，提高了反应室的储热能力，减少了

专利类型：发明专利

专利号：CN201210128569.7

专利申请（专利权）人：四川新光硅业科技有限责任公司

专利发明（设计）人：何大伟;赵兴华;蒲晓东

主权项：一种多晶硅还原炉，包括炉架，所述炉架上安装有炉体，所述炉架与炉体之间安装有底盘，所述炉体与所述底盘配合构成一中空的腔室，底盘上安装有若干电极，电极上安装有石墨件，硅芯棒位于所述腔室内且与所述石墨件连接，其特征在于，还包括隔热底板与隔热罩，且所述隔热底板与隔热罩均位于所述腔室内，所述隔热底板安装于所述底盘上，所述炉体的内壁上固定安装有若干卡扣支撑板，所述隔热罩安装于所述卡扣支撑板上，所述隔热罩与所述隔热底板一起围成中空的反应室，且所述硅芯棒位于所述反应室内。

专利地区：四川