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一种采用硅铁合金定向凝固提纯多晶硅的方法专利登记公告


专利名称:一种采用硅铁合金定向凝固提纯多晶硅的方法

摘要:一种采用硅铁合金定向凝固提纯多晶硅的方法,涉及一种多晶硅的提纯方法。将工业硅粉放入盐酸中浸泡,然后用去离子水冲洗;将硅粉和铁粉放入石墨坩埚,再将石墨坩埚放入定向凝固炉中,关闭炉盖,抽真空至10Pa以下,通入氩气;打开感应加热电源,使石墨坩埚内温度达到1570~1650℃后保温;启动定向凝固升降装置进行定向凝固,除去硅中的杂质,得铸锭;将铸锭放入真空退火炉中退火处理,之后炉冷至室温,得合金铸锭;取出合金铸锭,切除上部的20%~40%,剩余部分即为采用硅铁合金定向凝固提纯多晶硅。设备成本低、工艺简单易行,且提

专利类型:发明专利

专利号:CN201210115457.8

专利申请(专利权)人:厦门大学

专利发明(设计)人:罗学涛;林彦旭;余德钦;方明;卢成浩;李锦堂

主权项:一种采用硅铁合金定向凝固提纯多晶硅的方法,其特征在于包括以下步骤:1)将工业硅粉放入盐酸中浸泡,然后用去离子水冲洗;2)将步骤1)得到的硅粉和铁粉放入石墨坩埚,再将石墨坩埚放入定向凝固炉中,关闭炉盖,抽真空至10Pa以下,通入氩气;3)打开感应加热电源,使石墨坩埚内温度达到1570~1650℃后保温;4)启动定向凝固升降装置进行定向凝固,除去硅中的杂质,得铸锭;5)将步骤4)得到的铸锭放入真空退火炉中退火处理,之后炉冷至室温,得合金铸锭;6)取出合金铸锭,切除上部的20%~40%,剩余部分即为采用硅铁合金

专利地区:福建