一种硅片切割废砂浆中硅和碳化硅的回收方法专利登记公告

专利名称：一种硅片切割废砂浆中硅和碳化硅的回收方法

摘要：本发明公开了一种硅片切割废砂浆中硅和碳化硅的回收方法，它是利用电泳分离和超声分散相结合的方法对硅片切割废砂浆中硅粉和碳化硅进行分离回收的节能环保工艺。本发明回收方法的成本低，环境友好，节约能耗，分离效果好。通过调节悬浮液的pH值，改变悬浮液中硅及碳化硅粉体的电动电位使两粉体的电动电位处于一正一负状态；同时进行超声分散削弱颗粒之间的相互作用，以达到最佳的分离效果。回收的高纯硅微粉可以进一步用作制备单晶硅或多晶硅棒材的原料，碳化硅粉体可以制备成磨料重新用于硅棒的切割或用作其他用途。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210129869.7

专利申请（专利权）人：南京远齐环保科技有限公司

专利发明（设计）人：刘丽芝;罗波;朱三平

主权项：一种硅片切割废砂浆中硅和碳化硅的回收方法，其特征在于，它包括以下步骤：（1）在硅片切割废砂浆中加入降粘剂，搅拌均匀后进行固液分离，得到以聚乙二醇为主要成分的混合液和以碳化硅、硅为主要成分的固体颗粒；（2）将所得到的固体颗粒进行酸洗去除金属粉末，然后用蒸馏水反复清洗直至pH值为6.5～7，得到水洗后的固体颗粒；（3）在水洗后的固体颗粒中加入蒸馏水，并加入分散剂，得到废砂浆悬浮液；其中蒸馏水的用量为水洗后的固体颗粒重量的60%～80%，分散剂的用量为水洗后的固体颗粒重量的0.?10%～0.?40?%；（4）调

专利地区：江苏