制备(Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺专利登记公告

专利名称：制备(Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺

摘要：制备(Ti,Al)BN陶瓷基非晶-纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺，步骤为：首先进行双阴极等离子溅射沉积；然后进行离子氮化；溅射的靶材的种类：以热等静压工艺制备的成分质量配比为Ti:B:Al=6:3:1粉末冶金烧结板；工件材料的种类：钛合金。本发明利用双阴极等离子溅射技术，通过调整靶材的成分和气体之间的比例，实现了原位生成(Ti,Al)BN非晶-纳米晶复合涂层。简化了制备工艺，提高了涂层整体性能。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210132842.3

专利申请（专利权）人：南京航空航天大学

专利发明（设计）人：徐江

主权项：制备?(Ti,Al)BN陶瓷基非晶?纳米晶耐磨耐蚀复合涂层的工艺，其特征在于步骤为：a.?首先进行双阴极等离子溅射沉积，工艺参数如下：靶材电压500~1000?V，工件电压300~450?V，靶材与工件间距10~30?mm，工作气压20~45Pa，沉积温度450~650℃；b.?然后进行离子氮化，工艺参数如下:?工件电压650~850V，氮化温度450~600℃，工作气压20~45Pa，氮分压0.1?1?Pa；离子氮化1～2小时；?c.溅射的靶材的种类：以热等静压工艺制备的成分质量配比为Ti:B:Al=6

专利地区：江苏