一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置专利登记公告

专利名称：一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置

摘要：一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置，其特征为：由固定套管(1)、泵(2)、阀门(3)、真空室(4)、钯合金靶(5)、加热棒(11)、离子引出器(6)、光纤(7)、不锈钢管(8)、转轮(9)、电机(10)和底座(12)组成；光纤(7)从固定套管(1)穿入进入不锈钢针管(8)中，从不锈钢针管(8)穿出的光纤(7)缠绕在电机(10)上方的转轮(9)上，使钯合金钯(5)被加热棒加热并被蒸发，被蒸发钯合金离子可沉积在旋转的光纤(7)上，在光纤表面形成钯合金膜层，多余的靶合金离子被离子引出器(6)引出装置。该装置能自动

专利类型：发明专利

专利号：CN201210152163.2

专利申请（专利权）人：中国计量学院

专利发明（设计）人：沈常宇;刘洋;马启飞;蒋婷婷;钟川;褚金雷;邹新;牟晟;董新永;李萍

主权项：一种真空离子溅射光纤镀钯合金装置，其特征在于：由固定套管(1)、泵(2)、阀门(3)、真空室(4)、钯合金靶(5)、加热棒(11)、离子引出器(6)、光纤(7)、不锈钢管(8)、转轮(9)、电机(10)和底座(12)组成；光纤(7)从固定套管(1)穿入进入不锈钢针管(8)中，从不锈钢针管(8)穿出的光纤(7)缠绕在电机(10)上方的转轮(9)上，使钯合金钯(5)被加热棒加热并被蒸发，被蒸发钯合金离子可沉积在旋转的光纤(7)上，在光纤表面形成钯合金膜层，多余的靶合金离子被离子引出器(6)引出装置。

专利地区：浙江