氧化钨吸附管的制作方法及实施所述制作方法的镀膜装置专利登记公告

专利名称：氧化钨吸附管的制作方法及实施所述制作方法的镀膜装置

摘要：本发明提供一种镀膜装置及利用镀膜装置制作氧化钨吸附管的方法，其中，氧化钨吸附管制作方法包括：将吸附管基管置于座体的承载台上；将钨丝和弹性件跨接在座体上，使得钨丝贯穿吸附管基管；将配置有吸附管基管和钨丝的镀膜装置置于真空环境下，对钨丝进行加电处理，钨丝在加电情况升华为钨气并遇到温度较低的吸附管基管后凝华在吸附管基管的内壁表面以形成黑色的钨镀层；将凝华有钨镀层的吸附管基管进行加热氧化处理，以使得钨镀层氧化为浅黄色的三氧化钨，从而制作完成氧化钨吸附管。相较于现有技术，本发明镀膜装置结构简单，利用镀膜装置制作氧化

专利类型：发明专利

专利号：CN201210149030.X

专利申请（专利权）人：华瑞科学仪器（上海）有限公司

专利发明（设计）人：俞志鹤;闵嘉华;居海斌

主权项：一种制作氧化钨吸附管的镀膜装置，其特征在于，包括：座体；设于所述座体上、用于承载待处理的吸附管基管的承载台；跨设在所述座体上的钨丝和弹性件，其中，所述钨丝贯穿所述吸附管基管，所述钨丝的第一端固定在所述座体上，所述钨丝的第二端与所述弹性件的第一端相连接，所述弹性件的第二端固定在所述座体上。

专利地区：上海