一种航空有机玻璃的真空镀膜制备方法及其制备专利登记公告

专利名称：一种航空有机玻璃的真空镀膜制备方法及其制备

摘要：本发明涉及一种航空有机坡璃(聚甲基丙烯酸甲脂)真空镀膜的制备方法。它采用一套电子束蒸发和离子辅助的真空镀膜装置连续制备三层(辅-主-辅)沉积薄膜系结构，其中两个辅助膜层分别位于主膜层的底层和上层。两个辅助膜层是用聚四氟乙烯树酯液体经加热后蒸发汽化，喷入真空室内在离子轰击下被电离而分别沉积在基片表面和主膜层之上。主膜层用膜材(二氧化鋯或二氧化铪中一种)在电子束蒸发和辅助离子轰击下沉积在底层膜上形成光学增透膜。本发明连续真空制备的三层膜结构具有高附着力、高光透过率、雾度低、耐摩擦和耐弱酸碱腐蚀等性能。本发明还

专利类型：发明专利

专利号：CN201210173936.5

专利申请（专利权）人：宫杰;刘家兴;邬纪泽

专利发明（设计）人：宫杰;刘家兴;许镜明;蔡中林;邬纪泽

主权项：一种航空有机玻璃的真空镀膜制备方法及其制备，其特征在于：它采用一套电子束蒸发和离子辅助的真空镀膜装置连续制备″辅?主?辅″三层沉积薄膜结构，其制备工艺流程是：第一步骤真空沉积辅助底层薄膜，第二步骤真空蒸镀主薄膜，第三步骤真空沉积辅助顶层薄膜，制备主膜用的膜材(二氧化鋯或二氧化铪)被电子束聚焦能量加热蒸发和在辅助离子轰击下，在底层膜之上沉积形成的是光学增透膜，底层和顶层辅助薄膜的制备是用有机树脂类(优选：聚四氟乙烯树脂、氟碳树脂、二甲基硅树脂、聚硅氧烷树脂中的其中一种)液体在真空室外被加热后成汽态状态，用一

专利地区：四川