小型压电驻极体功能薄膜制备装置专利登记公告

专利名称：小型压电驻极体功能薄膜制备装置

摘要：本发明涉及一种小型压电驻极体功能薄膜制备装置，由两个子薄膜制备装置组合而成，所述子薄膜制备装置由金属座、腔体、加热板、模板、导管和真空泵组成，金属座的上部设有腔体，腔体一侧通过导管连接真空泵，腔体下部设有加热板，腔体顶部设有模板，模板上放置聚合物薄膜；模板由模板冲孔和模板基体组成，模板基体呈圆形结构，其上均匀分布有模板冲孔；两个子薄膜制备装置上下放置，位于其上的聚合物薄膜相对放置，位于两个子薄膜制备装置上的模板冲孔一一对应。本发明结构简单，模板单元可以方便灵活地更换，上下模板定位准确。用本发明设备制备出的

专利类型：发明专利

专利号：CN201210150541.3

专利申请（专利权）人：同济大学

专利发明（设计）人：张晓青;张欣梧;娄可行;游琼

主权项：一种小型压电驻极体功能薄膜制备装置，其特征在于由两个子薄膜制备装置组合而成，所述子薄膜制备装置由金属座(6)、腔体(7)、加热板(8)、模板(9)、导管(10)和真空泵(11)组成，金属座(6)的上部设有腔体(7)，腔体(7)一侧通过导管(10)连接真空泵(11)，腔体(7)下部设有加热板(8)，腔体(7)顶部设有模板(9)，模板(9)上放置聚合物薄膜；模板(9)由模板冲孔(12)和模板基体(13)组成，模板基体(13)呈圆形结构，其上均匀分布有模板冲孔(12)；两个子薄膜制备装置上下放置，位于其上的聚合

专利地区：上海