制备砷化铟/砷化镓量子点太阳电池的方法专利登记公告
专利名称:制备砷化铟/砷化镓量子点太阳电池的方法
摘要:一种制备砷化铟/砷化镓量子点太阳电池的方法,包括如下步骤:步骤1:在一衬底上依次生长n+型GaAs层和本征GaAs缓冲层;步骤2:在本征GaAs缓冲层上生长多周期的量子点结构;步骤3:在多周期的量子点结构上依次生长本征GaAs层、p型GaAs层、p+型GaAs层和p+型Al0.8Ga0.2As层;步骤4:在p+型Al0.8Ga0.2As层上蒸发上金属电极;步骤5:刻蚀上金属电极,使上金属电极形成网状;步骤6:在网状上金属电极上及裸露的p+型Al0.8Ga0.2As层上生长减反层;步骤7:剥离掉覆盖在上金属
专利类型:发明专利
专利号:CN201210153189.9
专利申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
专利发明(设计)人:杨晓光;杨涛
主权项:一种制备砷化铟/砷化镓量子点太阳电池的方法,包括如下步骤:步骤1:在一衬底上依次生长n+型GaAs层和本征GaAs缓冲层;步骤2:在本征GaAs缓冲层上生长多周期的量子点结构;步骤3:在多周期的量子点结构上依次生长本征GaAs层、p型GaAs层、p+型GaAs层和p+型Al0.8Ga0.2As层;步骤4:在p+型Al0.8Ga0.2As层上蒸发上金属电极;步骤5:刻蚀上金属电极,使上金属电极形成网状;步骤6:在网状上金属电极上及裸露的p+型Al0.8Ga0.2As层上生长减反层;步骤7:剥离掉覆盖在上金属
专利地区:北京
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