一种芯片传输机械臂专利登记公告

专利名称：一种芯片传输机械臂

摘要：一种芯片传输机械臂，通过真空吸附对芯片进行拾取和释放，然后通过集成在机械臂后端的压电陶瓷对施加的压力进行测量，从而使芯片操作过程中保证操作精度和施加适当的键合压力；采用两个感应铜柱端面互相接触，防止了真空吸头在重力作用下自然向下倾斜，保证了测量精度，并且通过两感应铜柱感知真空吸头的位置，感知真空吸头的位置，从而告知控制系统开始检测压电陶瓷输出的电流。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210154231.9

专利申请（专利权）人：山东理工大学

专利发明（设计）人：刘曰涛;魏修亭;肖春雷;孙立宁;陈立国

主权项：一种芯片传输机械臂，包括真空吸头（1）、吸头支撑杆（2）、吸头支架（3）、连接架（4）、真空发生器接头（5）、连接导块（6）、压电陶瓷（7）、吸头侧感应铜柱支架（8）、压电陶瓷固定架（9）、压电陶瓷侧感应铜柱（10）、吸头侧感应铜柱（11）、压电陶瓷侧感应铜柱支架（12）和定位片（13），真空发生器接头（5）连接真空发生器，优选为泵，真空发生器接头（5）和吸头支撑杆（2）连接在吸头支架（3）上，真空发生器接头（5）和真空吸头（1）通过吸头支撑杆（2）连接，吸头支撑杆（2）内有气槽，吸头支架（3）通过螺栓连

专利地区：山东