一种投影物镜波像差检测装置及方法专利登记公告

专利名称：一种投影物镜波像差检测装置及方法

摘要：一种投影物镜波像差检测装置及方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，通过掩模台移动进行视场选择，剪切光栅位于投影物镜的像面，和探测器一起安装在硅片台上，通过硅片台的横向精密移动光栅实现相移功能，同时使用探测器记录相移过程中的每一帧剪切干涉图。本发明使用二维光栅实现了二维剪切，同时将相移功能集成到剪切干涉仪中，结合其相位空间矢量特性，实现了投影物镜波像差的高精度测量。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210154523.2

专利申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所

专利发明（设计）人：刘志祥;刘学峰;吕保斌;陈红丽;甘大春;何毅

主权项：一种投影物镜波像差检测装置，其特征在于：从光线入射方向依次包括光源（101）、照明系统（102）、二次光源模块（103）、被测投影物镜（104）、探测模块（105）、图像采集器（106）、控制器（107）、计算机（108）；其中二次光源模块（103）包括散射板（201）、掩模板（202）和掩模台（203）；探测模块（105）包括二维光栅（211）、硅片台（212）、荧光材料（213）、滤光片（214）和面阵探测器（215）；光源（101）发出的激光通过传输光路导入照明系统（102），经照明系统（102）的

专利地区：四川