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阵列基板及多晶硅层的制作方法专利登记公告


专利名称:阵列基板及多晶硅层的制作方法

摘要:本发明公开一种阵列基板及多晶硅层的制作方法。在可挠基板上形成第一缓冲层。在第一缓冲层上形成第一阻挡层。在第一阻挡层上形成第二缓冲层。在第二缓冲层上形成第二阻挡层。在第二阻挡层上形成非晶硅层。以激光将非晶硅层转变成多晶硅层。

专利类型:发明专利

专利号:CN201210156748.1

专利申请(专利权)人:友达光电股份有限公司

专利发明(设计)人:刘展睿;李泓纬;陈重嘉;方俊雄

主权项:一种阵列基板,包括:可挠基板;第一缓冲层,配置于该可挠基板上;第一阻挡层,配置于该第一缓冲层上;第二缓冲层,配置于该第一阻挡层上;第二阻挡层,配置于该第二缓冲层上;以及薄膜晶体管,配置于该第二阻挡层上,其中该薄膜晶体管包括一多晶硅层。

专利地区:台湾