阵列基板及多晶硅层的制作方法专利登记公告
专利名称:阵列基板及多晶硅层的制作方法
摘要:本发明公开一种阵列基板及多晶硅层的制作方法。在可挠基板上形成第一缓冲层。在第一缓冲层上形成第一阻挡层。在第一阻挡层上形成第二缓冲层。在第二缓冲层上形成第二阻挡层。在第二阻挡层上形成非晶硅层。以激光将非晶硅层转变成多晶硅层。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210156748.1
专利申请(专利权)人:友达光电股份有限公司
专利发明(设计)人:刘展睿;李泓纬;陈重嘉;方俊雄
主权项:一种阵列基板,包括:可挠基板;第一缓冲层,配置于该可挠基板上;第一阻挡层,配置于该第一缓冲层上;第二缓冲层,配置于该第一阻挡层上;第二阻挡层,配置于该第二缓冲层上;以及薄膜晶体管,配置于该第二阻挡层上,其中该薄膜晶体管包括一多晶硅层。
专利地区:台湾
关于上述专利公告申明 : 上述专利公告转载自国家知识产权局网站专利公告栏目,不代表该专利由我公司代理取得,上述专利权利属于专利权人,未经(专利权人)许可,擅自商用是侵权行为。如您希望使用该专利,请搜索专利权人联系方式,获得专利权人的授权许可。