一种运动磁场辅助增强化学气相沉积方法及装置专利登记公告

专利名称：一种运动磁场辅助增强化学气相沉积方法及装置

摘要：本发明公开了一种运动磁场辅助增强化学气相沉积方法，是在化学气相沉积装置中的沉积区域设有周期性旋转运动磁场，所述沉积区域中磁场强度为100高斯至30特斯拉；本发明通过运动磁场约束气相中带电粒子的运动，强化带电粒子与沉积反应气体分子之间的相互作用，提高气体的反应裂解速率，降低沉积温度，提高材料的生长速率与品质。本发明可以有效提高气体的反应速率，降低材料的沉积温度，提高材料的生长速率与品质，克服了现有化学气相沉积制备薄膜材料时存在混合气体利用率过低、沉积速率太慢和沉积温度过高等问题；适于规模化应用。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210158815.3

专利申请（专利权）人：中南大学

专利发明（设计）人：余志明;魏秋平

主权项：一种运动磁场辅助增强化学气相沉积方法，是在化学气相沉积装置中的沉积区域设有周期性旋转运动磁场，所述沉积区域中磁场强度为100高斯至30特斯拉。

专利地区：湖南