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微通道内表面上定向生长F掺杂ZnO多孔薄膜的制备专利登记公告


专利名称:微通道内表面上定向生长F掺杂ZnO多孔薄膜的制备

摘要:本发明涉及一种微通道内表面上定向生长F掺杂ZnO多孔薄膜的制备方法,包括:(1)清洗微通道;(2)配制锌盐的醇溶液和碱的醇溶液,然后同时将所述的两种溶液推入清洗后的微通道内,加热保温,烘干得已生长有ZnO晶种的微通道;(3)配制锌盐与氟盐混合水溶液、碱的水溶液,然后将所述的两种溶液同时推入上述已生长有ZnO晶种的微通道内,连续通入0.5~3h后停止输送溶液,升温至130~200℃烘1~4h;最后用去离子水清洗并在130~200℃下烘1~4h,即可。本发明的制备方法简便,操作简单,本发明得到的薄膜的膜与基底

专利类型:发明专利

专利号:CN201210162866.3

专利申请(专利权)人:东华大学

专利发明(设计)人:王宏志;张权;李耀刚;张青红

主权项:一种微通道内表面上定向生长F掺杂ZnO多孔薄膜的制备方法,包括:(1)首先将微通道用酸洗液在60~80℃下浸泡10~30min,然后去离子水冲洗,接着用碱洗液在60~80℃下浸泡10~30min,再用去离子水冲洗,最后烘干,得到清洗后的微通道;(2)配制浓度为0.5mM~50mM锌盐的醇溶液和2mM~0.2M碱的醇溶液,然后分别以10μL/min~100μL/min的速度同时将所述的两种溶液推入清洗后的微通道内,待溶液充满微通道后,停止输送;然后于40~60℃保温2~4h,再升温至70~90℃保温2~4h

专利地区:上海