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双微镜旋转扫描器件专利登记公告


专利名称:双微镜旋转扫描器件

摘要:一种双微镜旋转扫描器件,它包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连,平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连;每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器,环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连,每个平面弹簧与1个微驱动器相连;本发明基于目前现有材料和微加工工艺,可以获得90度的光学反射角度,并完成360度圆周扫描并且明显缩短了扫描器件的轴向长度。

专利类型:发明专利

专利号:CN201210166956.X

专利申请(专利权)人:凝辉(天津)科技有限责任公司

专利发明(设计)人:徐英舜

主权项:一种双微镜旋转扫描器件,其特征在于:它包括微驱动器、平面弹簧、环形镜片和圆形镜片。微驱动器的输出端与平面弹簧的输入端相连,平面弹簧的输出端分别与环形镜片和圆形镜片的输入端相连;每个器件包括1个环形镜片、1个圆形镜片、8个平面弹簧和8个微驱动器,环形镜片和圆形镜片各与4个平面弹簧相连,每个平面弹簧与1个微驱动器相连。

专利地区:天津