基于LED光源高精度的微分干涉测量系统及方法专利登记公告
专利名称:基于LED光源高精度的微分干涉测量系统及方法
摘要:本发明涉及一种基于LED光源高精度的微分干涉测量系统及方法,采用LED弱相干光作为照明光源,由于其相干长度短,光束在传播过程中被散射的杂散光在接收屏上不能发生干涉,从而避免了相干噪声或散斑噪声的产生,进而提高了系统的测量精度。LED光源作为照明光源减小了整体系统的封装尺寸,使系统的结构更加紧凑。激光器作为照明光源时,其价格在整个系统中占了相当的比重,而使用廉价的LED作为光源大大的降低了光学测量系统的成本,可实现批量生产。
专利类型:发明专利
专利号:CN201210178838.0
专利申请(专利权)人:哈尔滨工业大学深圳研究生院
专利发明(设计)人:姚勇;赵勇;孙云旭;盛希晨;陈伯双
主权项:一种基于LED光源高精度的微分干涉测量系统,其特征在于,包括LED光源、聚焦透镜、可调光阑、滤波器、准直透镜、干涉滤光片、起偏器、单轴晶体、分光棱镜、1/4波片、检偏器、成像透镜、CCD图像探测传感器、采集干涉光强图的采集单元、重构待测样品表面的重构单元,所述LED光源、聚焦透镜、可调光阑、滤波器、准直透镜、干涉滤光片、起偏器依次设置在第一光轴上,所述待测样品、单轴晶体、分光棱镜、1/4波片、检偏器、成像透镜、CCD图像探测传感器依次设置在第二光轴上,所述第一光轴与所述第二光轴通过所述分光棱镜垂直连接,所
专利地区:广东
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