一种超精密复合抛光方法专利登记公告

专利名称：一种超精密复合抛光方法

摘要：本发明涉及一种超精密复合抛光方法，包括：（1）化学机械抛光：采用超细软磨粒，高性能石蜡和合成树脂制得的软材质研具以及高效活性加工液进行化学机械抛光；水合抛光：采用过热水蒸气、抛光研具和加热器进行水合抛光；非接触浮动抛光：采用SiO2胶粒、CeO2磨粒、研具和抛光液进行非接触浮动抛光；（2）对工件加工时，同时实施或交替实施上述化学机械抛光、水合抛光和非接触浮动抛光，即得经过复合抛光的工件。本发明在加工表面产生交互抛光作用，明显提高了加工质量和加工工效；主要用于功能陶瓷元器件最终超精密抛光加工，不仅抛光速度快

专利类型：发明专利

专利号：CN201210181335.9

专利申请（专利权）人：上海卡贝尼精密陶瓷有限公司

专利发明（设计）人：陶岳雨;陶近翁

主权项：一种超精密复合抛光方法，包括：（1）化学机械抛光：采用超细软磨粒，高性能石蜡和合成树脂制得的软材质研具以及抛光液进行化学机械抛光；水合抛光：采用过热水蒸气、抛光研具和加热器进行水合抛光；非接触浮动抛光：采用SiO2胶粒、CeO2磨粒、研具和抛光液进行非接触浮动抛光；（2）对工件加工时，同时实施或交替实施上述化学机械抛光、水合抛光和非接触浮动抛光，即得经过复合抛光的工件。

专利地区：上海