一种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像方法及装置专利登记公告

专利名称：一种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像方法及装置

摘要：本发明公开了一种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像方法及装置，首先将泵浦光分成等光强的、呈等间距阵列分布的泵浦光束组，泵浦光束组照射被测样品表面引起被测样品局部表面变形；将探测光也分成等光强的、呈等间距阵列分布的探测光束组，探测光束组照射被测样品表面，每一束探测光束对应与一束泵浦光束重合；由被测样品出射的探测光束组最后进入光电探测器，通过测量表面热形变引起的探测光束传播特性的变化，获得材料表面特性的二维图像。本发明在成像速度上比传统的对样品逐点扫描方法可以有很大提高，另外由于无需进行逐点扫描，具体检测及

专利类型：发明专利

专利号：CN201210198138.8

专利申请（专利权）人：合肥知常光电科技有限公司

专利发明（设计）人：吴周令;陈坚

主权项：一种基于激光阵列诱导表面热形变效应的成像方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）、将泵浦光源发出的泵浦光分成等光强的、呈等间距阵列分布的泵浦光束组，泵浦光束组经会聚后照射被测样品表面，泵浦光束组的每一束泵浦光在被测样品照射区域引起了相应的局部表面形变；（2）、将探测光源发出的探测光分成等光强的、呈等间距阵列分布的探测光束组，探测光束组经会聚后照射被测样品表面，且探测光束组的每一束探测光均与泵浦光束组的每一束泵浦光对应在空间上重合；（3）、由被测样品出射的探测光束组进入光电探测器，通过测量表面热形变引起的探测

专利地区：安徽