一种可调整真空度的真空镀膜机专利登记公告

专利名称：一种可调整真空度的真空镀膜机

摘要：本实用新型公开了一种可调整真空度的真空镀膜机，包括真空腔体和低温泵，特点是还包括可控制开口度的插板阀，所述插板阀包括阀体和阀板，所述阀体和阀板密封连接，所述阀体的一端与所述真空腔体固定连接，另一端与所述低温泵的冷端固定连接。本实用新型在保证工作效率的情况下，可以将真空腔体的真空度控制在一定范围，而不影响低温泵的使用周期。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN201220275466.9

专利申请（专利权）人：杭州大和热磁电子有限公司

专利发明（设计）人：刘黎明;陈军;关永卿;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉

主权项：一种可调整真空度的真空镀膜机，包括真空腔体和低温泵，其特征在于：还包括可控制开口度的插板阀，所述插板阀包括阀体和阀板，所述阀体和阀板密封连接，所述阀体的一端与所述真空腔体固定连接，另一端与所述低温泵的冷端固定连接。

专利地区：浙江