PVD镀炉用气体流量控制器专利登记公告

专利名称：PVD镀炉用气体流量控制器

摘要：本实用新型公开了一种PVD镀炉用气体流量控制器，包括气体流量控制机构、混合气管、分流气管和若干进气管；进气管分别与气体流量控制机构的进气口连接，混合气管的进气口与气体流量控制机构的出气口连接，混合气管的排气口与分流气管连接；分流气管置于PVD镀炉炉体内。本实用新型的PVD镀炉用气体流量控制器能使混合气体容易按需要的比例混合，保证混合气体的均匀性，从而达到使产品表面性质稳定，外观色泽均匀的目的，结构简单、易于实现。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN201220353560.1

专利申请（专利权）人：贝尔罗斯（广州）电子部件有限公司

专利发明（设计）人：禹跃斌

主权项：一种PVD镀炉用气体流量控制器，其特征在于：包括气体流量控制机构、混合气管、分流气管和若干进气管；进气管分别与气体流量控制机构的进气口连接，混合气管的进气口与气体流量控制机构的出气口连接，混合气管的排气口与分流气管连接；分流气管置于PVD镀炉炉体内。

专利地区：广东