一种多坩埚电子枪专利登记公告

专利名称：一种多坩埚电子枪

摘要：本实用新型公开了一种多坩埚电子枪，包括多个坩埚、传动轴和盖板，所述多个坩埚沿所述传动轴轴心圆周排列，所述坩埚上方设有盖板，所述盖板上设有孔，还包括一升降机构，所述升降机构设置在所述盖板下方且与所述盖板相连；当镀膜时，所述升降机构将所述盖板下降，所述盖板与坩埚口紧贴；当需要转动坩埚时，所述升降机构将所述盖板升高，所述盖板与坩埚之间产生缝隙，避免盖板与坩埚卡死。本实用新型解决了盖板与坩埚卡死的问题，且盖板紧贴坩埚口，可以防止蒸发源材料通过盖板孔污染其他源材料。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN201220275517.8

专利申请（专利权）人：杭州大和热磁电子有限公司

专利发明（设计）人：关永卿;陈军;刘黎明;洪婧;陈虹飞;田俊杰;汪文忠;邓凤林;郑栋;将卫金;赵山泉

主权项：一种多坩埚电子枪，包括多个坩埚、传动轴和盖板，所述多个坩埚沿所述传动轴轴心圆周排列，所述坩埚上方设有盖板，所述盖板上设有孔，其特征在于：还包括一升降机构，所述升降机构设置在所述盖板下方且与所述盖板相连；当镀膜时，所述升降机构将所述盖板下降，所述盖板与坩埚口紧贴；当需要转动坩埚时，所述升降机构将所述盖板升高，所述盖板与坩埚之间产生缝隙，避免盖板与坩埚卡死。

专利地区：浙江