便捷石墨舟专利登记公告

专利名称：便捷石墨舟

摘要：本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，尤其是一种便捷石墨舟。其包括舟体、舟片、支脚、上电极和下电极，舟片设置在舟体内，支脚安装在舟体底部，上电极和下电极分别位于舟体的上部和下部，舟片上设有缺口。在每一片舟片的同一位置设置半圆形缺口，为插、取硅片提供了方便，避免了破损，从而大大提高了硅片镀膜生产效率。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN201220306965.X

专利申请（专利权）人：沈文伟

专利发明（设计）人：沈文伟

主权项：一种便捷石墨舟，包括舟体（1）、舟片（2）、支脚（3）、上电极（4）和下电极（5），舟片（2）设置在舟体（1）内，支脚（3）安装在舟体（1）底部，上电极（4）和下电极（5）分别位于舟体（1）的上部和下部，其特征是，舟片（2）上设有缺口（6）。

专利地区：江苏