石墨舟专利登记公告

专利名称：石墨舟

摘要：本实用新型涉及一种PECVD设备的技术领域，尤其是一种石墨舟。其包括舟体、石墨片、插孔、硅片放置区和陶瓷棒，舟体上设有石墨片，石墨片上设有插孔和硅片放置区，插孔内设有陶瓷棒，硅片放置区为镂空型。这种石墨舟结构简单、紧凑并且合理，装配方便快捷，连接可靠，提高了使用的安全性，镀膜沉积快，提高了生产效率，同时提高了镀膜的质量，大大提高了石墨舟工作的可靠性，易于使用推广。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN201220306990.8

专利申请（专利权）人：沈文伟

专利发明（设计）人：沈文伟

主权项：一种石墨舟，包括舟体（1）、石墨片（2）、插孔（3）、硅片放置区（4）和陶瓷棒（5），其特征是，舟体（1）上设有石墨片（2），石墨片（2）上设有插孔（3）和硅片放置区（4），插孔（3）内设有陶瓷棒（5）。

专利地区：江苏