ＣＭＯＳ恒温集成流量传感器专利登记公告

专利名称：ＣＭＯＳ恒温集成流量传感器

摘要： 本实用新型采用功率的变化作为对流速的量度，只采用一只ＮＭＯＳ管作为温度敏感元件，并且在整个芯片中全部采用ＭＯＳ器件，将温度敏感元件，运算放大器、加热元件用常规ＣＭＯＳ硅栅等平面工艺实现单片集成，采用单一的５Ｖ电源工作，并采用ＣＭＯＳ运算放大器控制芯片温度恒定，灵敏度很高。它可用于各种气体和液体的测量，流速的测定，集成电路生产工艺中的实时控制，还可用于其它量（如真空等）的测量。

专利类型：实用新型专利

专利号：CN85204747

专利申请（专利权）人：南京工学院

专利发明（设计）人：童勤义; 黄金彪

主权项： 一种ＣＭＯＳ恒温集成流量传感器，由温度敏感元件〔Ｑ↓〔１〕〕、运算放大器〔Ａ〕、加热元件〔Ｑ↓〔２〕〕所组成，其特征在于该传感器将温度敏感元件〔Ｑ↓〔１〕〕、运算放大器〔Ａ〕、加热元件〔Ｑ↓〔２〕〕用常规ＣＭＯＳ硅栅等平面工艺实现单片集成。

专利地区：江苏