扫描电子显微镜用的样品夹专利登记公告

专利名称：扫描电子显微镜用的样品夹

摘要：扫描电子显微镜用的样品夹包括：一个底座1，底座1上开有按一定间隔的多个样品放置槽2；固定片3，设置在样品放置槽2的一个侧壁上；弹簧片4，设置在固定片3面向样品放置槽2的侧壁上；其特征是，还包括：固定螺杆5，固定螺杆5按垂直于样品放置槽2的长度方向的底座中心轴设置，固定螺杆5穿过样品放置槽2的侧壁和固定片3中心的螺孔，将样品放置槽2和固定片3平均分割成两部分。固定片3上设置的两个弹簧片4具有向外突起的圆弧形，每个圆弧形的弹簧片4对应一个待检测的样品，弹簧片4焊接在固定片3上。

专利类型：发明专利

专利号：CN200410093465.2

专利申请（专利权）人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司

专利发明（设计）人：陈 强;邹丽君;秦立勇;陈险峰

主权项：1、扫描电子显微镜用的样品夹包括：一个底座(1)，底座(1)上开有按一定间隔的多个样品放置槽(2)；固定片(3)，设置在样品放置槽(2)的一个侧壁上；弹簧片(4)，设置在固定片(3)面向样品放置槽(2)的侧壁上；其特征是，还包括：固定螺杆(5)，固定螺杆(5)按垂直于样品放置槽(2)的长度方向的底座中心轴设置，固定螺杆(5)穿过样品放置槽(2)的侧壁和固定片(3)中心的螺孔，将样品放置槽(2)和固定片(3)平均分割成两部分，固定片(3)上设置的两个弹簧片(4)具有向外突起的圆弧形，每个圆弧形的弹簧片(4)

专利地区：上海