光罩及其制作方法专利登记公告

专利名称：光罩及其制作方法

摘要：本发明提出一种光罩及其制作方法，该光罩包含一透光区以及一遮光区，其中该遮光区包含多个光子晶胞，每一个该光子晶胞具有一正六边形的受光面，且多个该光子晶胞的晶格常数与光源的波长的比值为一特定值，从而该光源无法通过由多个该光子晶胞所组成的遮光区。

专利类型：发明专利

专利号：CN200810188172.0

专利申请（专利权）人：南亚科技股份有限公司

专利发明（设计）人：林佳蔚;黄登烟

主权项：一种光罩，包含：一透光区；以及一遮光区，其包含多个光子晶胞，且每一所述光子晶胞具有一受光面；其中所述受光面为一正六边形，且多个所述光子晶胞的晶格常数与光源的波长的比值为一特定值，从而所述光源无法通过所述遮光区。

专利地区：中国