超过800万条软件/作品著作权公告信息!

提供基于中国版权保护中心以及各省市版权局著作权登记公告信息查询

一种高精度光刻胶分配泵控制装置及其控制方法专利登记公告


专利名称:一种高精度光刻胶分配泵控制装置及其控制方法

摘要:本发明涉及一种高精度光刻胶分配泵控制器及其控制方法,该装置包括:主控电路,具有执行控制程序的第1处理器,其将输入的选择命令和/或控制信号通过通讯接口与泵驱动电路进行通讯连接;泵驱动电路,由第2处理器接收主控电路的控制信号,实现对光刻胶分配泵的选择控制;所述方法包括以下步骤:在多个光刻胶分配泵中选择参与控制的泵;设置各参与控制的泵参数;将数据传输给泵驱动电路;泵驱动电路对被选泵进行控制。本发明通过硬件及软件的配合控制,能准确的控制光刻胶的吐出量,减少各种光刻胶尤其是昂贵的光刻胶的浪费,减少企业的投入,本发明

专利类型:发明专利

专利号:CN200810228795.6

专利申请(专利权)人:沈阳芯源微电子设备有限公司

专利发明(设计)人:赵宇;张军;董文博;刘贺祥

主权项:一种高精度光刻胶分配泵控制器,其特征在于包括:主控电路,具有执行控制程序的第1处理器,其将输入的选择命令和/或控制信号通过通讯接口与泵驱动电路进行通讯连接;泵驱动电路,由第2处理器接收主控电路的控制信号,实现对光刻胶分配泵的选择控制。

专利地区:辽宁