掩模盒、搬送装置、曝光装置、掩模搬送方法及器件制造方法专利登记公告
专利名称：掩模盒、搬送装置、曝光装置、掩模搬送方法及器件制造方法
摘要：本发明提供一种掩模盒，其是收纳掩模的掩模盒C，在其与作为载放该掩模盒C的外部装置的搬送车V及搬送装置H1的接触部，具备具有与掩模的负荷对应的强度的加强构件，搬送掩模的搬送车V及搬送装置H1分别具备作为盒支承部的多个万向滚珠43、52，其支承收纳了掩模的掩模盒C的加强构件，并且抑制在其与该加强构件之间产生的摩擦。
专利类型：发明专利
专利号：CN200880108833.2
专利申请（专利权）人：株式会社尼康
专利发明（设计）人：向井干人;吹田文吾
主权项：一种掩模盒，是收纳掩模的掩模盒，其特征在于，在与载放该掩模盒的外部装置接触的接触部具备加强构件，其中所述加强构件具有与所述掩模的负荷对应的强度。
专利地区：日本
关于上述专利公告申明 : 上述专利公告转载自国家知识产权局网站专利公告栏目，不代表该专利由我公司代理取得，上述专利权利属于专利权人，未经（专利权人）许可，擅自商用是侵权行为。如您希望使用该专利，请搜索专利权人联系方式，获得专利权人的授权许可。