喷嘴以及使用该喷嘴处理基材的设备和方法专利登记公告

专利名称：喷嘴以及使用该喷嘴处理基材的设备和方法

摘要：本发明提供一种喷嘴以及使用该喷嘴处理基材的设备和方法。该基材处理设备包括基材支撑元件，其包括在其上放置基材的旋转头；喷嘴，用于向置于该旋转头上的基材排放处理液；和处理液供应源，用于向该喷嘴供应处理液。该喷嘴包括具有多个离散排放口和整合排放口的喷嘴主体。该离散排放口具有呈第一长度的狭缝状截面并沿着预定方向连续排列。该整合排放口通过将各个离散排放口彼此连接成长度大于第一长度的一体狭缝状而形成，并最终排放处理液。

专利类型：发明专利

专利号：CN200910224111.X

专利申请（专利权）人：细美事有限公司

专利发明（设计）人：朴性云;朴相旭;高在升

主权项：一种基材处理设备，包括：基材支撑元件，包括在其上放置基材的旋转头；喷嘴，用于向置于所述旋转头上的基材排放处理液；和处理液供应源，用于向所述喷嘴供应处理液，其中所述喷嘴具有多个离散排放口，所述离散排放口具有狭缝状截面并沿着预定方向连续排列。

专利地区：韩国