采用真空熔铸法制备铬靶的方法专利登记公告

专利名称：采用真空熔铸法制备铬靶的方法

摘要：本发明涉及一种采用真空熔铸法制备铬靶的方法，依下述步骤进行：a.Cr块的挑选：将有氧化皮、被污染的Cr块挑出；b.熔炼：将合格的Cr块装入中频真空感应炉中，升温速率为10-18℃/min，熔炼温度为1800～2000℃；c.浇注：以0.6～0.8m/s的浇注速度快速浇铸到水冷Cu模中，进行快速冷却，制得Cr靶。本发明通过感应加热方法，在高温下将材料熔化，快速浇铸，并辅以快速冷却，实现快速形核并且抑制核长大，本方法制得的Cr靶，具有成分均匀、致密性高、晶粒细小、纯度高、工艺简单、成本低等优良的综合性能。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010181628.8

专利申请（专利权）人：陕西斯瑞工业有限责任公司

专利发明（设计）人：张红军;王玲玲;杨平

主权项：采用真空熔铸法制备铬靶的方法，其特征在于，包括下述步骤：a.Cr块的挑选：将有氧化皮、被污染的Cr块挑出；b.熔炼：将合格的Cr块装入中频真空感应炉中，升温速率为10-18℃/min，熔炼温度为1800～2000℃，保温7-15分钟；c.浇注：以0.6～0.8m/s的浇注速度快速浇铸到水冷Cu模中，进行快速冷却制得Cr靶。

专利地区：陕西