显影装置专利登记公告

专利名称：显影装置

摘要：本发明提供了一种显影装置，包括显影腔、设于显影腔内供一圆片放置的托盘、位于托盘上方的可调节的清洗喷嘴和显影液喷嘴、及一控制模块，所述显影装置进一步包括一雾化装置及一位于所述托盘上方的雾状喷嘴，所述雾化装置与雾状喷嘴受所述控制模块控制，所述雾化装置内设有一温控单元。相较于现有技术，本发明所述的显影装置通过设置雾化装置和雾状喷嘴，使得该雾状喷嘴喷射的雾状液体可以一次性覆盖整片圆片，可以显著改善圆片预浸润的效果，提高清洗效率，降低缺陷数目。

专利类型：发明专利

专利号：CN201010577994.5

专利申请（专利权）人：无锡华润上华科技有限公司

专利发明（设计）人：黄玮

主权项：一种显影装置，包括显影腔、设于显影腔内供一圆片放置的托盘、位于托盘上方的可调节的清洗喷嘴和显影液喷嘴、及一控制模块，其特征在于：所述显影装置进一步包括一雾化装置及一位于所述托盘上方的雾状喷嘴，所述雾化装置与雾状喷嘴受所述控制模块控制，所述雾化装置内设有一温控单元。

专利地区：江苏