光学加工系统和方法专利登记公告

专利名称：光学加工系统和方法

摘要：本发明公开了一种光学加工系统，包括加工平台、光学投影镜头、光学模板、中央控制系统、位置补偿系统和光源。其中，位置补偿系统包括位置检测系统、空间光调制器和位置信号处理模块。本发明的光学加工系统中，加工平台实现第一运动轴的步进运动和第二运动轴的扫描运动，光学模板或光学投影镜头实现第三运动轴的扫描运动，通过空间光调制器对第二运动轴方向上的曝光位置进行动态补偿，实现了第二运动轴和第三运动轴这两个扫描轴的精确高速同步，从而能够以“两轴扫描、一轴步进”的方式实现三维加工，其加工效率和加工精度大幅提升。

专利类型：发明专利

专利号：CN201210076272.0

专利申请（专利权）人：苏州大学;苏州苏大维格光电科技股份有限公司

专利发明（设计）人：胡进;浦东林;陈林森

主权项：一种光学加工系统，其特征在于：包括加工平台、光学投影镜头、光学模板、中央控制系统和位置补偿系统，其中，所述加工平台实现第一运动轴的步进运动和第二运动轴的扫描运动，所述光学模板或光学投影镜头实现第三运动轴的扫描运动，所述位置补偿系统包括：位置检测系统，用于检测光学投影镜头、待加工物或光学模板的位置；空间光调制器，其用于产生一位置控制域，该位置控制域投影至光学模板并经光学投影镜头缩放后，在位于加工平台上的待加工物表面的预定曝光区曝光，所述空间光调制器具有位置补偿区，位于所述位置控制域的四周，且所述位置控制域能

专利地区：江苏