一种金属导线尺寸监测方法专利登记公告

专利名称：一种金属导线尺寸监测方法

摘要：本发明实施例公开了一种金属导线尺寸监控方法，该方法在预设了金属导线电阻的区间后，包括：根据金属导线电阻的区间计算得到其横截面积的区间；根据金属导线横截面积的区间和其厚度计算得到金属导线的尺寸区间，即第一尺寸区间；根据所述第一尺寸区间监控并调整金属导线的尺寸，所述金属导线的尺寸包括其横截面的顶部宽度和底部宽度。本发明通过同时监测金属导线横截面的顶部宽度和底部宽度，能够准确的获知具有一定倾斜角度的金属导线的横截面积，进而使监测的金属导线尺寸变化能够准确的反映金属导线电阻的变化，因此能够通过调整金属导线的尺寸实

专利类型：发明专利

专利号：CN201010593581.6

专利申请（专利权）人：无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司

专利发明（设计）人：李健;胡骏

主权项：一种金属导线尺寸监控方法，其特征在于，在预设了金属导线电阻的区间后，包括：根据金属导线电阻的区间计算得到金属导线横截面积的区间；根据金属导线横截面积的区间和其厚度计算得到金属导线的尺寸区间，即第一尺寸区间；根据所述第一尺寸区间监控并调整金属导线的尺寸，所述金属导线的尺寸包括其横截面的顶部宽度和底部宽度。

专利地区：江苏