微机电传感器的形成方法专利登记公告

专利名称：微机电传感器的形成方法

摘要：本发明提供微机电传感器的形成方法，包括：提供基底，基底上形成有若干数目的微机电传感器件区，及与每个微机电传感器区相邻的焊盘区，所述微机电传感区表面形成微机电传感电极，焊盘区表面形成有焊盘电极；在基底上沉积介质层，所述介质层内形成有第一空腔及第二空腔，所述第一空腔暴露出所述微机电传感电极表面，第一空腔内还形成有可动部件，第二空腔暴露出所述焊盘电极表面；对相邻的微机电传感器区进行切割分离，所述切割口至少贯穿所述第二空腔，直至暴露所述焊盘电极，分离所述相邻的微机电传感器。本发明第二空腔暴露出焊盘电极，进行微机电

专利类型：发明专利

专利号：CN201010618301.2

专利申请（专利权）人：上海丽恒光微电子科技有限公司

专利发明（设计）人：毛剑宏;唐德明

主权项：一种微机电传感器的形成方法，所述微机电传感器包括微机电传感区及与其相邻的焊盘区，其特征在于，包括：提供基底，所述基底上形成有若干数目的微机电传感器区，及与每个微机电传感器区相邻的焊盘区，所述微机电传感区表面形成有微机电传感电极，所述焊盘区表面形成有焊盘电极；在所述基底上沉积介质层，所述介质层内形成有第一空腔及第二空腔，所述第一空腔暴露出所述微机电传感电极表面，所述第一空腔内还形成有可动部件，所述第二空腔暴露出所述焊盘电极表面；对相邻的微机电传感器进行切割分离，所述切割口至少贯穿所述第二空腔，直至暴露所述焊

专利地区：上海