一种减少金属流电腐蚀的方法专利登记公告
专利名称：一种减少金属流电腐蚀的方法
摘要：本发明公开了一种减少金属流电腐蚀的方法。此方法包括在使用含氟的清洗剂清洗完刻蚀残余后，在槽式清洗机的去离子水槽中鼓入二氧化碳气体，然后进行清洗剂的漂洗。本发明的方法可有效减少铝金属层刻蚀清洗后流电腐蚀的产生。
专利类型：发明专利
专利号：CN201010619942.X
专利申请（专利权）人：安集微电子(上海)有限公司
专利发明（设计）人：王胜利;彭洪修;刘兵;孙广胜
主权项：一种减少金属流电腐蚀的方法，刻蚀后的铝金属层在用含氟的清洗剂进行刻蚀残余清洗后，用去离子水漂洗，其特征在于：所述去离子水中鼓入二氧化碳气体。
专利地区：上海
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